




CT系列鍍膜機(jī)
CT(Custamued workstation)系列鍍膜機(jī)系我司非標(biāo)定制產(chǎn)品,根據(jù)您的要求單獨(dú)設(shè)計(jì),滿足您的特殊需要。
特點(diǎn):1、按需開(kāi)發(fā),量身定制。
2、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。
3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選
4、可集成手套箱系統(tǒng)
5、可集成多種自動(dòng)化應(yīng)用
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真空鍍膜設(shè)備真空泵的選擇
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。機(jī)械泵:也叫前級(jí)泵,機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵,它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。
正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。一、真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用的有直徑1。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。
真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,1好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
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現(xiàn)代真空鍍膜機(jī)膜厚測(cè)量及監(jiān)控方法
涂層的鍍膜機(jī)控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅(qū)動(dòng)的蒸發(fā)源,通過(guò)PID控制回路傳動(dòng)擋板,使蒸發(fā)率。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接,它可以控制涂層的全過(guò)程。但(QCM)的準(zhǔn)確性是有限的,鍍膜機(jī)部分原因是其監(jiān)測(cè)代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。但(QCM)的準(zhǔn)確性是有限的,鍍膜機(jī)部分原因是其監(jiān)測(cè)代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。
此外,雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定,但溫度高,它將成為對(duì)溫度很敏感。在長(zhǎng)時(shí)間的加熱過(guò)程中,鍍膜機(jī)很難避免傳感器為敏感的區(qū)域,導(dǎo)致薄膜的重大錯(cuò)誤。 光學(xué)監(jiān)測(cè)是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式,鍍膜機(jī)這是因?yàn)樗軠?zhǔn)確控制膜的厚度(如果使用得當(dāng))。
精度的提高,由于許多因素,但根本的原因是光學(xué)厚度的監(jiān)測(cè)。optimalswa-i-05單一波長(zhǎng)的光學(xué)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),是間接控制,鍍膜機(jī)先進(jìn)的光學(xué)監(jiān)測(cè)軟件結(jié)合王博士的發(fā)展,有效地改善和靈敏度變化的光反應(yīng)的膜厚度的減少終的誤差的理論方法,提供監(jiān)測(cè)波長(zhǎng)的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。optimalswa-i-05單一波長(zhǎng)的光學(xué)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),是間接控制,鍍膜機(jī)先進(jìn)的光學(xué)監(jiān)測(cè)軟件結(jié)合王博士的發(fā)展,有效地改善和靈敏度變化的光反應(yīng)的膜厚度的減少終的誤差的理論方法,提供監(jiān)測(cè)波長(zhǎng)的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。特別適用于涂布各種薄膜厚度監(jiān)控包括不規(guī)則的膜。
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